Avantages du microscope électronique à balayage
1. Facteur de grossissement
En raison de la taille fixe de l'écran fluorescent du microscope électronique à balayage, le changement de grossissement est obtenu en modifiant l'amplitude de balayage du faisceau d'électrons sur la surface de l'échantillon.
Si le courant de la bobine de balayage est réduit, l'amplitude de balayage du faisceau d'électrons sur l'échantillon diminuera et le facteur d'amplification augmentera. Le réglage est très pratique et peut être ajusté en continu de 20x à environ 200 000 fois.
2. Résolution
La résolution est le principal indicateur de performance de la microscopie électronique à balayage.
La résolution est déterminée par le diamètre du faisceau d'électrons incident et le type de signal de modulation Co-détermination :
Plus le diamètre du faisceau électronique est petit, plus la résolution est élevée.
Les signaux physiques utilisés pour l'imagerie varient en résolution.
Par exemple, les électrons SE et BE ont des plages d’émission et des résolutions différentes sur la surface de l’échantillon. La résolution du SE est généralement d'environ 5-10 nm, tandis que celle du BE est d'environ 50-200 nm.
3. Profondeur de champ
Il fait référence à la capacité d'un objectif à focaliser et à imager simultanément diverses parties d'un échantillon inégal.
L'objectif final du microscope électronique à balayage utilise une petite ouverture angulaire et une longue distance focale, ce qui permet d'obtenir une grande profondeur de champ. Elle est 100-500 fois plus grande que la profondeur de champ du microscope optique général et 10 fois plus grande que la profondeur de champ du microscope électronique à transmission.
Les principales caractéristiques du SEM sont une grande profondeur de champ, un fort sens tridimensionnel et une morphologie réaliste.
Les échantillons utilisés pour la microscopie électronique à balayage sont divisés en deux catégories :
1 est un échantillon avec une bonne conductivité, qui peut généralement conserver sa forme originale et peut être observé au microscope électronique sans ou avec un léger nettoyage ;
2 est un échantillon non conducteur, ou un échantillon présentant une perte d'eau, un dégagement de gaz ou une déformation par retrait sous vide, qui doit être correctement traité avant de pouvoir être observé.
