Avantages de la microscopie électronique à balayage
1. Grossissement
Puisque la taille de l'écran fluorescent du microscope électronique à balayage est fixe, le changement de grossissement est réalisé en modifiant l'amplitude de balayage du faisceau d'électrons sur la surface de l'échantillon.
Si le courant de la bobine de balayage est réduit, la plage de balayage du faisceau d'électrons sur l'échantillon sera réduite et le grossissement sera augmenté. Le réglage est très pratique et peut être ajusté en continu de 20 fois à environ 200 000 fois.
2. Résolution
La résolution est le principal indice de performance du SEM.
La résolution est déterminée par le diamètre du faisceau d'électrons incident et le type de signal de modulation :
Plus le diamètre du faisceau d'électrons est petit, plus la résolution est élevée.
Différents signaux physiques utilisés pour l'imagerie ont des résolutions différentes.
Par exemple, les électrons SE et BE ont des plages d'émission différentes à la surface de l'échantillon et leurs résolutions sont différentes. Généralement, la résolution de SE est d'environ 5-10 nm et celle de BE est d'environ 50-200 nm.
3. Profondeur de champ
Il fait référence à une gamme de capacités qu'un objectif peut simultanément focaliser et imager sur différentes parties d'un échantillon présentant des irrégularités.
L'objectif final du microscope électronique à balayage adopte un petit angle d'ouverture et une longue distance focale, de sorte qu'une grande profondeur de champ peut être obtenue, qui est 100-500 fois plus grande que celle d'un microscope optique général et 10 fois plus grande que celle d'un microscope électronique à transmission.
Une grande profondeur de champ, un sens tridimensionnel fort et une forme réaliste sont les caractéristiques exceptionnelles du SEM.
Les spécimens pour SEM sont divisés en deux catégories :
1 est un échantillon avec une bonne conductivité, qui peut généralement conserver sa forme d'origine et peut être observé au microscope électronique sans ou avec un peu de nettoyage ;
2. Les échantillons non conducteurs, ou les échantillons qui perdent de l'eau, dégagent des gaz, rétrécissent et se déforment sous vide, doivent être correctement traités avant de pouvoir être observés.
