Différence entre un microscope électronique et un microscope métallurgique
Principe du microscope électronique à balayage
Le microscope électronique à balayage (MEB), en abrégé SEM, est un système complexe qui condense la technologie électro-optique, la technologie du vide, la mécanique fine et la technologie moderne de contrôle informatique. Le SEM est un effet haute tension accéléré du canon à électrons émis par l'électron à travers une lentille électromagnétique à plusieurs étages convergeant vers un petit faisceau d'électrons. Balayage de la surface de l'échantillon, excitation d'une variété d'informations, grâce à la réception de ces informations, amplification et affichage de l'imagerie, afin d'analyser la surface de l'échantillon. L'interaction des électrons incidents avec l'échantillon produit les types d'informations illustrés à la figure 1. La distribution d'intensité bidimensionnelle de ces informations varie en fonction des caractéristiques de la surface de l'échantillon (ces caractéristiques sont la morphologie de la surface, la composition, l'orientation des cristaux, les propriétés électromagnétiques). , etc.), est une variété de détecteurs pour collecter les informations dans l'ordre, le rapport des informations converties en signal vidéo, puis transmis au balayage simultané du tube image et à la modulation de sa luminosité, vous pouvez obtenir une réponse à la surface de la carte de numérisation du spécimen. Si le signal reçu par le détecteur est numérisé et converti en signal numérique, il peut être traité et stocké par un ordinateur. Les microscopes électroniques à balayage sont principalement conçus pour l'observation de spécimens de blocs épais présentant de grandes différences de hauteur et des irrégularités grossières, et sont donc conçus pour mettre en évidence l'effet de profondeur de champ, et sont généralement utilisés pour analyser les fractures ainsi que les surfaces naturelles qui n'ont pas été artificiellement traité.
Microscope électronique et microscope métallurgique
Premièrement, la source de lumière est différente : microscope métallurgique utilisant la lumière visible comme source de lumière, microscope électronique à balayage utilisant un faisceau d'électrons comme source de lumière pour l'imagerie.
Deuxièmement, le principe est différent : microscope métallurgique utilisant le principe d'imagerie optique géométrique pour l'imagerie, microscope électronique à balayage utilisant un bombardement par faisceau d'électrons à haute énergie de la surface de l'échantillon, excitation d'une variété de signaux physiques sur la surface de l'échantillon, puis utilisation de différents détecteurs de signaux pour accepter les signaux physiques convertis en informations d'image.
Troisièmement, la résolution est différente : au microscope métallurgique, en raison de l'interférence et de la diffraction de la lumière, la résolution ne peut être limitée qu'à 0,2-0,5 um entre les deux. Au microscope électronique à balayage, car l'utilisation d'un faisceau électronique comme source de lumière, la résolution peut atteindre entre 1-3 nm, de sorte que l'observation des tissus au microscope métallurgique appartient à l'analyse au niveau du micron, l'observation des tissus au microscope électronique à balayage appartient au niveau nanométrique. analyse.
Quatrièmement, la profondeur de champ est différente : la profondeur de champ du microscope métallurgique général est comprise entre 2-3 um, de sorte que la douceur de la surface de l'échantillon a un degré d'exigence très élevé, son processus d'échantillonnage est donc relativement complexe. Alors que le microscope électronique à balayage a une grande profondeur de champ, un grand champ de vision, une imagerie riche en sens tridimensionnel, peut observer directement une variété de spécimens à microstructure de surface inégale.
