Le microscope électronique comporte plusieurs parties
Le microscope électronique se compose de trois parties : le barillet de l'objectif, l'aspirateur et l'armoire d'alimentation.
1. Le barillet d'objectif comprend principalement des sources d'électrons, des lentilles électroniques, des porte-échantillons, des écrans fluorescents et des détecteurs. Ces composants sont généralement assemblés dans un cylindre de haut en bas.
La lentille électronique est utilisée pour focaliser les électrons et est le composant le plus important du canon du microscope électronique. Généralement, des lentilles magnétiques sont utilisées, et parfois des lentilles électrostatiques sont également utilisées.
2. Le dispositif à vide est utilisé pour assurer l'état de vide dans le microscope, de sorte que les électrons ne soient pas absorbés ou déviés sur son chemin. Il est composé d'une pompe à vide mécanique, d'une pompe à diffusion et d'une soupape à vide, et est relié au barillet de l'objectif par un tuyau d'échappement.
3. L'armoire de puissance est composée d'un générateur haute tension, d'un stabilisateur de courant d'excitation et de diverses unités de contrôle de réglage.
