Système d'imagerie par microscope électronique
1. Objectif et stigmatiseur
L'objectif est la première lentille d'imagerie du système d'imagerie. Les performances d'un microscope électronique sont principalement déterminées par les caractéristiques optiques de l'objectif. Toute imperfection de la lentille d'objectif sera encore amplifiée par d'autres lentilles du système d'imagerie. Par conséquent, l'aberration de l'objectif doit être aussi petite que possible et le grossissement est suffisamment élevé, et l'objectif avec une forte excitation, une courte distance focale (1.5-3 mm) et un diaphragme d'objectif sont généralement utilisé pour réduire l'aberration sphérique. Parce que l'ouverture optique est trop petite, la résolution de l'objectif sera réduite en raison de l'effet de diffraction et l'interférence du faisceau d'électrons sera forte en raison de l'effet de pollution du bord optique, de sorte que l'ouverture optique ne peut pas être trop petite .
Le stigmatiseur est un élément important pour garantir que la résolution de l'objectif est améliorée. Il utilise un champ magnétique avec une force et une orientation réglables pour corriger l'astigmatisme axial causé par la lentille d'objectif non axisymétrique.
Le stigmatiseur électromagnétique couramment utilisé est composé de deux groupes de quatre paires d'électroaimants installés uniformément autour de l'espace entre les pièces polaires. Les deux champs magnétiques de correction elliptiques formés sont perpendiculaires l'un à l'autre, et en modifiant l'intensité d'excitation et la direction du champ magnétique des deux ensembles d'électromagnétiques, un champ magnétique de correction non symétrique en rotation peut être formé. Si sa force est égale au champ d'astigmatisme de la lentille et que les directions sont perpendiculaires les unes aux autres, il peut éliminer l'astigmatisme.
2. Miroir intermédiaire et miroir de projection
Le miroir intermédiaire est une lentille magnétique faible à longue distance focale et à grossissement variable. Le trou intérieur de la pièce polaire est plus grand et le grossissement est compris entre 0-20. Lorsque le grossissement est supérieur à 1, il sert à agrandir le miroir d'objectif ; lorsque le grossissement est inférieur à 1, il sert à réduire le miroir de l'objectif.
Le miroir de projection est une lentille magnétique forte à courte distance focale, utilisant des chaussures polaires à petite ouverture symétriques de haut en bas - pour obtenir un grand grossissement. Le miroir de projection possède un certain courant d'excitation, qui joue le rôle de grossir l'image médiane et de la projeter sur l'écran fluorescent.
3. Amplification à trois étages
Le grossissement le plus élevé d'un microscope électronique est déterminé par des facteurs tels que les performances de l'instrument, la résolution de la plaque de base photographique (ou de l'écran fluorescent), etc. D'une manière générale, le système d'imagerie à grossissement secondaire peut obtenir une image électronique grossie d'environ 200 000 fois. L'objectif agrandit les détails de l'échantillon de 100 fois et forme l'image sur le miroir d'objectif, tandis que le miroir intermédiaire agrandit l'image de l'objectif de 20 fois et l'image sur le miroir de projection ; le miroir de projection grossit 100 fois l'image du miroir intermédiaire et forme l'image sur l'écran fluorescent. L'ajustement du nombre de moines amplifiés peut être réalisé en modifiant le courant d'excitation de l'insert central. Une fois le courant d'excitation de la ville médiane modifié, le courant d'excitation de la lentille d'objectif doit également être modifié de manière appropriée pour garantir que le plan du miroir de la lentille d'objectif est mélangé avec la surface de montage médiane, afin d'obtenir une image claire de la point focal.
Dans le système d'imagerie à trois étages, si le courant d'excitation de l'objet est modifié, l'image de la lentille d'objectif peut être réalisée sous la monture centrale.
Le miroir objet est un "objet virtuel", qui est formé en une petite image réelle sur la surface objet A du miroir de projection. Le miroir de projection est imagé sur l'écran fluorescent, de sorte qu'une image électronique grossie de milliers à des dizaines de milliers de fois peut être obtenue. La distorsion d'image produite par ce procédé peut être réduite par la compensation mutuelle de la distorsion en barillet du miroir intermédiaire et de la distorsion en coussinet du miroir de projection.
Si l'objectif est fermé et que le miroir intermédiaire est utilisé à la place de la ville objet pour l'imagerie, le grossissement peut être réduit à environ 100-300 plus, et des images avec un champ de vision plus large peuvent être obtenues.
