Comment fonctionnent les jauges d'épaisseur en ligne pour le pelliculage
La jauge d'épaisseur JSP pour revêtements à couches minces est une jauge d'épaisseur en ligne qui utilise le principe de la technologie de revêtement optique pour détecter l'épaisseur des matériaux. La mesure du spectre et le contrôle de la jauge d'épaisseur en ligne à couche mince sont couramment utilisés dans les lignes de production pour les tests par lots de l'épaisseur du matériau. Dans le processus de mesure de l'épaisseur, ils seront mesurés en temps réel pour montrer les résultats au technicien ou au système de contrôle, afin de faciliter la Le technicien ou le système de contrôle peut répondre aux données anormales en temps opportun, constitue une partie importante de la production automatisée. De nos jours, en raison du développement rapide de la science et de la technologie, la jauge d'épaisseur en ligne de revêtement de film est devenue un outil indispensable pour tester par lots l'épaisseur du matériau sur la ligne de production.
De nos jours, en raison du développement rapide de la science et de la technologie, le domaine de la vision industrielle a connu un développement et une application plus rapides, dans le domaine de la mesure de l'épaisseur du film, la jauge d'épaisseur en ligne de revêtement de film a également connu un développement plus rapide, maintenant, avec le développement continu de science et technologie, le type de jauge d'épaisseur ainsi que les caractéristiques techniques de l'instrument ont également connu de nombreuses améliorations, jauge d'épaisseur en cours d'application de la jauge d'épaisseur, combinée avec différents types de jauge d'épaisseur, l'utilisation de beaucoup de différents, et maintenant prenez la mesure et le contrôle wuxi jingpu de la jauge d'épaisseur de revêtement de film, mesure du spectre fin et contrôle de la jauge d'épaisseur en ligne du revêtement (épaisseur du film), utilisation de l'interférence nano-optique, en même temps, 20 couches n'utilisent pas le revêtement, film pour une mesure simultanée, alors que la précision est aussi élevée que 1 nm, une solution parfaite au rayonnement de jauge d'épaisseur en ligne de classe de rayon traditionnel, cycle de décalage, faible précision de détection, ne peut pas détecter les défauts de l'épaisseur du revêtement. La mesure du spectre de précision et le contrôle de l'épaisseur du revêtement, la détection de la jauge d'épaisseur en ligne de haute précision, peuvent en même temps l'étalonnage automatique en ligne en temps réel, garantissant efficacement la précision de détection de la jauge d'épaisseur en ligne.
Principe de détection de la jauge d'épaisseur en ligne de revêtement de film :
Lorsqu'une longueur d'onde spécifique de la lumière à travers différents matériaux (épaisseur, densité, composition différentes), après la surface et la réflexion interne plusieurs fois après la formation de franges spectrales sont complètement différentes, le système grâce à l'analyse des franges d'interférence spectrales reçues de les caractéristiques de la lumière réfléchie et la bibliothèque système de courbes spectrales pour correspondre et comparer, tandis que la simulation et l'ajustement des courbes caractéristiques, puis chaque épaisseur de composition différente du revêtement mesure en ligne.
(1) La lumière incidente est réfléchie plusieurs fois sur les surfaces supérieure et inférieure du film.
(2) L'intensité de la lumière réfléchie est liée à l'indice de réfraction du film, à l'indice de réfraction du substrat, à l'épaisseur du film et à la longueur d'onde.
(3) Dans le cas d'un indice de réfraction connu, l'épaisseur du film est calculée en fonction de l'intensité lumineuse réfléchie et de la longueur d'onde mesurées.
