Combien de nanomètres un microscope confocal peut-il voir ?
L’objectif de la science des matériaux est d’étudier l’influence de la structure superficielle d’un matériau sur ses propriétés de surface. Par conséquent, l’analyse de la topographie de la surface à haute résolution est importante pour déterminer les paramètres liés à la rugosité de la surface, aux propriétés réfléchissantes, aux propriétés tribologiques et à la qualité de la surface. Les techniques confocales sont capables de mesurer des matériaux présentant diverses propriétés réfléchissantes de surface et d'obtenir des données de mesure efficaces.
Le microscope confocal laser, basé sur le principe de la technologie confocale, est un instrument d'inspection permettant de mesurer à l'échelle micro et nanométrique les surfaces de divers appareils et matériaux de précision. La haute résolution de mesure atteint 0,5 nm.
Applications
1.MEMS
Mesure dimensionnelle de composants microniques et submicroniques, observation de la morphologie de surface après différents procédés (développement, gravure, métallisation, CVD, PVD, CMP, etc.), analyse de défauts.
2. Composants mécaniques de précision, appareils électroniques
Mesure dimensionnelle de composants microniques et submicroniques, observation de la morphologie de surface après divers procédés de traitement de surface, procédés de brasage, analyse de défauts, analyse de particules.
3. Semi-conducteur/LCD
Observation de la topographie de surface après différents procédés (développement, gravure, métallisation, CVD, PVD, CMP, etc.), analyse de défauts Mesure de largeurs de lignes sans contact, de profondeurs de pas, etc.
4. Tribologie, corrosion et autres ingénieries de surface
Mesure de volume des marques d'abrasion, mesure de rugosité, topographie de surface, corrosion et topographie de surface après ingénierie de surface submicronique.
Spécifications techniques
Modèle : VT6100
Plage de course : 100*100*100mm
Plage de champ de vision : 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Répétabilité de la mesure de la hauteur (1σ) : 12 nm
Précision de la mesure de la hauteur : ± (0.2+L/100) μm
Résolution de mesure de la hauteur : 0,5 nm
Répétabilité de mesure de largeur (1σ) : 40 nm
Précision de mesure de largeur : ± 2 %
Résolution de mesure de largeur : 1 nm
