Introduction à la structure du microscope électronique
Le microscope électronique se compose de trois parties : le barillet de l'objectif, le système de vide et l'armoire d'alimentation. Le barillet d'objectif comprend principalement des canons à électrons, des lentilles électroniques, des porte-échantillons, des écrans fluorescents et des mécanismes de caméra. Ces composants sont généralement assemblés en colonne de haut en bas ; le système de vide est composé de pompes à vide mécaniques, de pompes à diffusion et de vannes à vide. Le gazoduc est relié au barillet de l'objectif et l'armoire électrique est composée d'un générateur haute tension, d'un stabilisateur de courant d'excitation et de diverses unités de commande de réglage.
◆ Lentille électronique
La lentille électronique est la partie la plus importante du barillet de la lentille du microscope électronique. Il utilise un champ électrique spatial ou un champ magnétique symétrique à l'axe du barillet de l'objectif pour plier la piste d'électrons vers l'axe pour former un foyer. Sa fonction est similaire à celle d'une lentille convexe en verre pour focaliser le faisceau, on l'appelle donc électron. lentille. La plupart des microscopes électroniques modernes utilisent des lentilles électromagnétiques, qui focalisent les électrons à travers un champ magnétique puissant généré par un courant d'excitation continu très stable traversant une bobine avec des sabots polaires.
◆Pistolet à électrons
Le canon à électrons est un composant constitué d'une cathode chaude à filament de tungstène, d'une grille et d'une cathode. Il peut émettre et former un faisceau d'électrons avec une vitesse uniforme, de sorte que la stabilité de la tension d'accélération ne doit pas être inférieure à un dix millième.
