Plusieurs méthodes de mesure de planéité couramment utilisées
La planéité est l'une des tolérances géométriques, qui fait référence à l'écart de la hauteur macro-concave-convexe à la surface de l'objet par rapport au plan idéal. Dans les méthodes de détection traditionnelles, la mesure de la planéité comprend généralement : la méthode de mesure de la jauge à bouchon/jauge d'épaisseur, la méthode du niveau de liquide, la méthode de mesure de l'interféromètre à plan laser (méthode d'interférométrie à cristaux plats), la méthode de mesure du niveau/numérique et la loi de mesure du compteur.
La méthode de mesure de la jauge d'épaisseur ne nécessite qu'un ensemble de jauges d'épaisseur portables pour effectuer une mesure approximative de la planéité à tout moment et n'importe où. À l'heure actuelle, de nombreuses usines utilisent encore cette méthode de détection. En raison de sa faible précision, la jauge d'épaisseur conventionnelle la plus fine est de 10 µm, l'efficacité de détection est faible, le résultat n'est pas assez complet et seul le bord de la pièce peut être détecté.
La méthode du niveau de liquide, basée sur le principe de fonctionnement du connecteur, convient pour mesurer la planéité de grands plans continus ou discontinus, mais elle prend beaucoup de temps à mesurer et est sensible à la température, elle ne convient donc qu'aux plans à faible précision de mesure.
Méthode de mesure par interféromètre plan laser, l'utilisation la plus typique est l'interférométrie à cristal plat. Mais il est principalement utilisé pour la mesure de petits plans lisses, tels que la surface de mesure du micromètre, la surface de travail de la jauge et la lentille optique.
La méthode de mesure de niveau est largement utilisée dans la mesure de la rectitude et de la planéité de la surface de la pièce. Précision de mesure élevée, bonne stabilité, petite taille, facile à transporter. Cependant, lors de l'utilisation de cette méthode pour mesurer, il est nécessaire de déplacer à plusieurs reprises la position de l'instrument et d'enregistrer les données de chaque point de mesure, ce qui prend du temps, laborieux, long temps de réglage, et la procédure de traitement des données est lourde.
L'application typique de la méthode de mesure du compteur est le micromètre plat et l'instrument à trois coordonnées, parmi lesquels l'instrument à trois coordonnées est le plus largement utilisé. Pendant la mesure, l'indicateur se déplace sur l'échantillon à tester, et les données de chaque point de mesure par rapport à la référence de mesure sont mesurées en fonction des points de disposition sélectionnés, puis l'erreur de planéité est évaluée par le traitement des données. Mais son efficacité est faible, généralement un prélèvement prend plusieurs minutes, loin des 15ppm attendus.
