Principe d'imagerie au microscope électronique à transmission
Le faisceau électronique d'un microscope électronique à balayage ne traverse pas l'échantillon, mais se concentre autant que possible sur une petite zone de l'échantillon, puis balaye l'échantillon ligne par ligne. Les électrons incidents excitent les électrons secondaires à la surface de l’échantillon. Le microscope observe les électrons diffusés depuis chaque point. Le cristal de scintillation placé à côté de l'échantillon reçoit ces électrons secondaires et module l'intensité du faisceau électronique du tube-image après amplification, modifiant ainsi la luminosité de l'écran fluorescent du tube-image. L'image est une représentation tridimensionnelle qui reflète la structure de la surface du spécimen. La bobine de déviation du tube cathodique est balayée de manière synchrone avec le faisceau d'électrons sur la surface de l'échantillon, de sorte que l'écran fluorescent du tube cathodique affiche l'image morphologique de la surface de l'échantillon, ce qui est similaire au principe de fonctionnement de l'industrie. téléviseurs. Étant donné que les électrons dans de tels microscopes n'ont pas besoin de transmettre à travers l'échantillon, la tension requise pour l'accélération des électrons n'a pas besoin d'être très élevée.
La résolution d'un microscope électronique à balayage est principalement déterminée par le diamètre du faisceau électronique à la surface de l'échantillon. Le grossissement est le rapport entre l'amplitude de balayage sur le tube cathodique et l'amplitude de balayage sur l'échantillon, qui peut varier en continu de dizaines de fois à des centaines de milliers de fois. La microscopie électronique à balayage ne nécessite pas d'échantillons très fins ; L’image a un fort sentiment de tridimensionnalité ; Il peut analyser la composition des substances en utilisant des informations telles que les électrons secondaires, les électrons absorbés et les rayons X générés par l'interaction entre les faisceaux d'électrons et les substances.
La fabrication des microscopes électroniques à balayage repose sur l’interaction entre les électrons et la matière. Lorsqu'un faisceau d'électrons de haute énergie bombarde la surface d'un matériau, la région excitée produira des électrons secondaires, des électrons Auger, des rayons X caractéristiques et des rayons X à spectre continu, des électrons rétrodiffusés, des électrons transmis, ainsi qu'un rayonnement électromagnétique dans le visible. , ultraviolets et infrarouges. Dans le même temps, des paires d'électrons-trous, des vibrations de réseau (phonons) et des oscillations électroniques (plasmas) peuvent également être générées.
