Principe de fonctionnement et utilisation du microscope électronique à transmission
Le microscope électronique à transmission (TEM), peut voir au microscope optique ne peut pas voir moins de {{0}},2 um de structure fine, ces structures sont appelées structure sous-microscopique ou ultramicrostructure. Pour voir ces structures, il est nécessaire de choisir une longueur d’onde plus courte de la source lumineuse, afin d’améliorer la résolution du microscope. 1932 Ruska a inventé le faisceau électronique comme source de lumière du microscope électronique à transmission, la longueur d'onde du faisceau électronique est beaucoup plus courte que la longueur d'onde de la lumière visible et de la lumière ultraviolette, et la longueur d'onde du faisceau électronique et l'émission du faisceau électronique de la racine carrée de la tension est inversement proportionnelle à cela, c'est-à-dire que plus la tension est élevée, plus la longueur d'onde est courte. Actuellement, le pouvoir de résolution du TEM peut atteindre 0,2 nm.
Le principe de fonctionnement du microscope électronique à transmission est le faisceau d'électrons émis par le canon à électrons, dans le canal à vide le long de l'axe optique du corps du miroir à travers le miroir du condenseur, à travers le miroir du condenseur convergera en un faisceau de point net, lumineux et uniforme, irradiation des échantillons dans la chambre à échantillons sur les échantillons ; à travers les échantillons après le faisceau d'électrons transportant des échantillons avec des informations structurelles internes, les échantillons dans le dense à travers la quantité d'électrons sont faibles, la quantité d'électrons transmis à travers le lieu plus clairsemé plus d'électrons ; après la convergence de la focalisation de l'objectif et après la convergence de l'objectif et le grossissement primaire, le faisceau d'électrons dans le niveau inférieur de la lentille intermédiaire et le premier, le deuxième miroir de projection pour une imagerie à grossissement intégré, et finalement l'image électronique agrandie projetée sur la salle d'observation du panneau d'écran fluorescent ; L'écran fluorescent sera converti en une image visible de l'image électronique que l'utilisateur pourra observer. Dans cette section, les principales structures et principes de chaque système sont décrits.
Le principe d’imagerie du microscope électronique à transmission peut être divisé en trois cas :
1. Absorption comme : lorsque l’électron atteint la masse, la densité de l’échantillon, le principal effet de formation de phase est l’effet de diffusion. L'échantillon sur l'épaisseur de masse de la place sur l'angle de diffusion de l'électron est grand, à travers l'électron est moindre, comme la luminosité de l'obscurité. Les premiers microscopes électroniques à transmission étaient basés sur ce principe.
2. Image de diffraction : Une fois le faisceau d'électrons diffracté par l'échantillon, la distribution d'amplitude de l'onde de diffraction à différentes positions de l'échantillon correspond à la capacité de diffraction différente de chaque partie du cristal dans l'échantillon. Lorsqu'il y a un défaut cristallin, la capacité de diffraction de la partie défectueuse est différente de celle de la zone intacte, rendant ainsi la répartition de l'amplitude de l'onde de diffraction inégale et reflétant la répartition du défaut cristallin.
3. Image de phase : lorsque l'échantillon est aussi fin que 100Å ou moins, les électrons peuvent traverser l'échantillon et le changement d'amplitude de l'onde peut être négligé, et l'imagerie provient du changement de phase.
