Types et caractéristiques des microscopes électroniques à balayage
Il existe différents types de microscopes électroniques à balayage, et différents types de microscopes électroniques à balayage ont des différences de performances. Selon le type de pistolet électronique, il peut être divisé en trois types: le pistolet électronique à émission de champ, le pistolet à fil de tungstène et l'hexaborure de lanthane. Parmi eux, la microscopie électronique à balayage des émissions de champ peut être divisée en microscopie électronique à balayage d'émission de champ froid et microscopie électronique à balayage d'émission de champ chaud basé sur les performances de la source lumineuse. La microscopie électronique à balayage d'émission de champ froid nécessite des conditions de vide élevées, un courant de faisceau instable, une durée de durée d'émetteur courte et nécessite un nettoyage régulier de la pointe de l'aiguille, qui est limité à l'observation d'image unique et a une plage d'application limitée; Le microscope électronique à balayage d'émission de champ thermique a non seulement un long temps de travail continu, mais peut également être combiné avec divers accessoires pour obtenir une analyse complète. Dans le domaine de la géologie, nous devons non seulement observer la morphologie préliminaire des échantillons, mais également analyser d'autres propriétés des échantillons en combinaison avec des analyseurs, de sorte que l'application de la microscopie électronique à balayage d'émission de champ thermique est plus étendue.
Bien que la microscopie électronique à balayage soit un nouveau venu dans la famille du microscope, sa vitesse de développement est très rapide en raison de ses nombreux avantages.
L'instrument a une haute résolution et peut observer les détails d'environ 6 nm à la surface de l'échantillon par imagerie électronique secondaire. En utilisant un pistolet électronique LAB6, il peut être encore amélioré à 3 nm.
L'instrument a une large gamme de changements de grossissement et peut être ajusté en continu. Par conséquent, différentes tailles de champs de vision peuvent être sélectionnées pour l'observation selon les besoins, et des images claires avec une luminosité élevée qui sont difficiles à réaliser avec la microscopie électronique à transmission générale peuvent également être obtenues à un grossissement élevé.
La profondeur du champ et le champ de vision de l'échantillon sont grandes et l'image est riche en trois dimensions. Il peut observer directement des surfaces rugueuses avec de grandes ondulations et des images de fracture métallique inégales de l'échantillon, donnant aux gens le sentiment d'être présent dans le monde microscopique.
La préparation des 4 échantillons est simple. Tant que les échantillons de bloc ou de poudre sont légèrement traités ou non traités, ils peuvent être directement observés au microscope électronique à balayage, qui est plus proche de l'état naturel de la substance.
5. La qualité de l'image peut être contrôlée et améliorée efficacement par des méthodes électroniques, telles que le maintien automatique de la luminosité et le contraste, la correction de l'angle d'inclinaison de l'échantillon, la rotation de l'image ou l'amélioration de la tolérance au contraste d'image par la modulation Y, ainsi qu'une luminosité et une obscurité modérées dans diverses parties de l'image. En utilisant un dispositif à double grossissement ou un sélecteur d'image, des images avec différentes grossissements peuvent être observées simultanément sur l'écran fluorescent.
6 peut être soumis à une analyse complète. Installez un spectromètre à rayons X dispersif (WDX) ou un spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie (EDX) pour lui permettre de fonctionner comme une sonde d'électrons et de détecter les électrons réfléchis, les rayons X, la cathodoluminescence, les électrons transmis, les électrons augir, etc. Émis par l'échantillon. L'élargissement de l'application de la microscopie électronique à balayage à diverses méthodes d'analyse microscopique et micro-zone a démontré la multifonctionnalité de la microscopie électronique à balayage. De plus, il est également possible d'analyser les micro-zones sélectionnées de l'échantillon tout en observant l'image de morphologie; En installant la fixation du support d'échantillon semi-conducteur, les jonctions PN et les micro-défauts dans les transistors ou les circuits intégrés peuvent être directement observés via un amplificateur d'image de force électromotive. En raison de la mise en œuvre d'un contrôle automatique électronique automatique et semi-automatique pour de nombreuses sondes électroniques à microscope électronique à balayage, la vitesse d'analyse quantitative a été considérablement améliorée.
