Quels sont les facteurs affectant la résolution de la microscopie électronique à transmission ?
A. Diamètre de la tache du faisceau d'électrons incident : c'est la limite du pouvoir de résolution du microscope électronique à balayage. Généralement, le diamètre minimum du spot du faisceau du canon à électrons à cathode chaude peut être réduit à 6 nm, et le canon à électrons à émission de champ peut rendre le diamètre du spot du faisceau inférieur à 3 nm.
B. Effet d'expansion du faisceau d'électrons incident dans l'échantillon : le degré de diffusion dépend de l'énergie des électrons du faisceau incident et du numéro atomique de l'échantillon. Plus l'énergie du faisceau incident est élevée, plus le numéro atomique de l'échantillon est petit, plus le volume du faisceau d'électrons est grand et la zone où le signal est généré augmente avec la diffusion du faisceau d'électrons, réduisant ainsi la résolution.
C. Méthode d'imagerie et signal de modulation utilisé : lorsque l'électron secondaire est utilisé comme signal de modulation, en raison de sa faible énergie (moins de 50 eV) et de son court libre parcours moyen (environ 10-100 nm), seule la couche de surface de 50-100 nm Les électrons secondaires dans la plage de profondeur ne peuvent s'échapper que de la surface de l'échantillon, et le nombre de diffusions se produit est très limité et ne s'étend fondamentalement pas latéralement. Par conséquent, la résolution de l'image électronique secondaire est approximativement égale au diamètre de la tache du faisceau. Lorsque les électrons rétrodiffusés sont utilisés comme signal de modulation, l'énergie des électrons rétrodiffusés est relativement élevée et la capacité de pénétration est forte, de sorte qu'ils peuvent s'échapper d'une zone plus profonde de l'échantillon (environ 30 % de la profondeur effective). Dans cette gamme de profondeur, les électrons incidents ont une expansion latérale assez large, de sorte que la résolution de l'image électronique rétrodiffusée est inférieure à celle de l'image électronique secondaire, généralement autour de 500-2000nm. Si d'autres modes de fonctionnement tels que l'absorption d'électrons, les rayons X, la cathodofluorescence, la conductance induite par le faisceau ou le potentiel sont utilisés comme signaux de modulation, puisque les signaux proviennent de toute la zone de diffusion du faisceau d'électrons, la résolution des images de balayage obtenues est relativement faible , généralement à l 000 nm ou au-dessus de l0000 nm.
