Quel est le principe de fonctionnement de la jauge d'épaisseur en ligne de revêtement à couche mince
Jingpu Measurement and Control Thin Film Coating Jauge d'épaisseur en ligne est un instrument de mesure d'épaisseur en ligne qui utilise le principe de la technologie de revêtement optique pour détecter l'épaisseur des matériaux. La mesure du spectre de précision et le contrôle de la jauge d'épaisseur en ligne à couche mince sont souvent utilisés pour tester par lots l'épaisseur des matériaux sur la chaîne de production. La réponse aux données anormales est un maillon important de la production automatisée. De nos jours, en raison du développement rapide de la science et de la technologie, les jauges d'épaisseur en ligne de revêtement à couche mince sont devenues un outil indispensable pour la détection par lots de l'épaisseur du matériau sur la chaîne de production.
De nos jours, en raison du développement rapide de la science et de la technologie, le domaine de la vision artificielle s'est développé et appliqué rapidement. Dans le domaine de la mesure de l'épaisseur des couches minces, les jauges d'épaisseur en ligne pour les revêtements en couches minces se sont également développées rapidement. De nos jours, avec le développement continu de la science et de la technologie, la mesure de l'épaisseur Les types et les caractéristiques techniques de l'instrument ont également été beaucoup améliorés. Dans le processus d'application de la jauge d'épaisseur, combinée à différents types de jauges d'épaisseur, l'utilisation est également très différente. Prenez maintenant la jauge d'épaisseur de revêtement à couche mince de mesure et de contrôle de précision Wuxi. Par exemple, la jauge d'épaisseur en ligne de mesure et de contrôle du spectre de précision (épaisseur de film) adopte la méthode d'interférence nano-optique, qui peut mesurer simultanément 20 couches de revêtements inutilisés et films en même temps, et la précision est aussi élevée que 1 nm, ce qui résout parfaitement le problème du rayonnement traditionnel. La jauge d'épaisseur en ligne présente les inconvénients d'un rayonnement, d'une longue période de décalage, d'une faible précision de détection et d'une incapacité à détecter l'épaisseur du revêtement. La jauge d'épaisseur en ligne de mesure et de contrôle de l'épaisseur de revêtement de précision a une précision de détection élevée, et en même temps, elle peut se calibrer automatiquement en ligne en temps réel, ce qui garantit efficacement la précision de détection de la jauge d'épaisseur en ligne.
Principe de détection en ligne de la jauge d'épaisseur de revêtement à couche mince :
Lorsque la lumière d'une longueur d'onde spécifique traverse différents matériaux (épaisseur, densité, composition différentes), les franges spectrales formées après de multiples réflexions sur la surface et à l'intérieur sont complètement différentes. Le système analyse le spectre de la lumière réfléchie reçue. Les caractéristiques des franges d'interférence sont mises en correspondance et comparées avec les courbes spectrales dans la bibliothèque du système, et les courbes caractéristiques sont simulées et ajustées en même temps, puis les revêtements avec différentes épaisseurs de composants sont mesurés. en ligne.
(1) La lumière incidente est réfléchie plusieurs fois sur les surfaces supérieure et inférieure du film.
(2) L'intensité de la lumière réfléchie est liée à l'indice de réfraction du film, à l'indice de réfraction du substrat, à l'épaisseur du film et à la longueur d'onde.
(3) Dans le cas d'un indice de réfraction connu, calculez l'épaisseur du film en fonction de l'intensité de la lumière réfléchie mesurée et de la longueur d'onde.
