Pourquoi un microscope électronique nécessite-t-il un système de vide ?
En raison du mouvement lent des électrons dans l’air, il est nécessaire de maintenir le degré de vide du microscope électronique grâce à un système de vide. Sinon, les molécules présentes dans l’air obstrueront l’émission du faisceau électronique et empêcheront l’imagerie. Connectez deux types de pompes à vide en série pour obtenir le vide dans le tube du microscope électronique. Lorsque le microscope électronique démarre, la pompe rotative du premier étage obtient un faible vide comme pré-vide pour la pompe du deuxième étage ; Le deuxième étage utilise une pompe à diffusion d'huile pour obtenir un vide poussé.
La microscopie électronique à balayage utilise des faisceaux d'électrons à haute énergie-pour numériser et imager des objets. Pour garantir la résolution de l’imagerie, le faisceau d’électrons doit être collimaté et focalisé comme un faisceau. S'il n'y avait pas de vide ou un degré de vide insuffisant, les faisceaux d'électrons à haute énergie - seraient absorbés ou dispersés lorsqu'ils heurteraient les molécules d'air, perturbant leur collimation et rendant impossible l'imagerie.
Le vide a deux fonctions : l’une est d’empêcher les molécules d’air de diffuser des électrons, ce qui peut conduire à une mauvaise focalisation du faisceau d’électrons ; Une autre solution consiste à éviter la perte d’énergie électronique après une collision avec des molécules d’air.
L'importance du vide pour la microscopie électronique : Le vide joue un rôle très important en microscopie électronique. Lorsque le microscope électronique fonctionne, l'ensemble du trajet du faisceau électronique et l'échantillon à analyser seront placés dans un environnement sous vide poussé. Si le degré de vide n'est pas suffisamment élevé, une décharge inter-électrodes peut se produire entre la grille et l'anode du canon à électrons, ce qui peut brûler le filament. Les collisions entre le faisceau d'électrons et les particules d'air résiduelles peuvent également provoquer une diffusion, ce qui peut empêcher les électrons du faisceau d'électrons d'atteindre l'échantillon ou fausser l'analyse.
Les exigences de vide des microscopes électroniques : Afin de permettre aux électrons du faisceau d'électrons de se déplacer le plus facilement possible, le degré de vide des microscopes électroniques doit généralement atteindre un vide poussé de l'ordre de 1E-7mbar, voire un ultra-vide poussé de l'ordre de 1E-10mbar ; Outre le degré de vide, le niveau de vibration lors du fonctionnement de la pompe à vide est également crucial. En raison de la petite section transversale du faisceau d'électrons, la précision de positionnement sur l'échantillon est très élevée, et cette précision ne peut être maintenue que dans un environnement avec des niveaux de vibration extrêmement faibles ; De plus, pour éviter la contamination par les vapeurs d'huile de l'échantillon ou des composants internes du microscope, il est préférable d'utiliser une pompe à vide sèche sans huile.
