Différences entre le microscope électronique et le microscope métallographique
Principe du microscope électronique à balayage
Le microscope électronique à balayage (MEB) est un système complexe. La technologie de l'optique électronique, la technologie du vide, la structure mécanique fine et la technologie moderne de contrôle informatique sont concentrées. Le microscope électronique à balayage (MEB) collecte les électrons émis par le canon à électrons en fins faisceaux d'électrons à travers des lentilles électromagnétiques à plusieurs étages sous l'action d'une haute tension accélérée. L'analyse de la surface de l'échantillon peut stimuler diverses informations, qui peuvent être reçues, amplifiées, affichées et imagées pour analyser la surface de l'échantillon. Les électrons incidents interagissent avec l'échantillon pour générer des types d'informations, comme le montre la figure 1. La distribution d'intensité bidimensionnelle de ces informations varie en fonction des caractéristiques de la surface de l'échantillon (ces caractéristiques incluent la morphologie de la surface, la composition, l'orientation des cristaux, les caractéristiques électromagnétiques, etc. .). Les informations collectées par divers détecteurs sont converties en signaux vidéo en séquence et proportionnellement, puis transmises au kinéscope à balayage synchrone pour moduler sa luminosité, de sorte qu'une image de balayage reflétant l'état de surface de l'échantillon puisse être obtenue. Si le signal reçu par le détecteur est numérisé et converti en signal numérique, il peut être traité et stocké davantage par l'ordinateur. Le microscope électronique à balayage (MEB) est principalement utilisé pour observer des échantillons épais présentant une grande différence de hauteur et une grande rugosité. Il met donc en évidence l'effet de profondeur de champ dans la conception et est généralement utilisé pour analyser les fractures et les surfaces naturelles sans traitement manuel.
Microscope électronique et microscope métallographique
Premièrement, la source de lumière est différente : le microscope métallographique utilise la lumière visible comme source de lumière, et le microscope électronique à balayage utilise un faisceau d'électrons comme source de lumière pour l'imagerie.
Deuxièmement, le principe est différent : le microscope métallographique utilise le principe d'imagerie optique géométrique pour imager, le microscope électronique à balayage utilise un faisceau d'électrons à haute énergie pour bombarder la surface de l'échantillon, ce qui excite divers signaux physiques sur la surface de l'échantillon, puis utilise différents détecteurs de signaux pour recevoir signaux physiques et les convertir en informations d’image.
Troisièmement, la résolution est différente : en raison de l'interférence et de la diffraction de la lumière, la résolution du microscope métallographique ne peut être limitée qu'à 0.2-0,5 um. Étant donné que le microscope électronique à balayage utilise un faisceau d'électrons comme source de lumière, sa résolution peut atteindre 1-3 nm, de sorte que l'observation de la microstructure du microscope métallographique appartient à l'analyse à l'échelle micronique, et l'observation de la microstructure du microscope électronique à balayage appartient à l'analyse à l'échelle nanométrique. .
Quatrièmement, la profondeur de champ est différente : généralement, la profondeur de champ du microscope métallographique est comprise entre 2-3 um, donc la douceur de la surface de l'échantillon est extrêmement élevée, donc le processus de préparation de l'échantillon est relativement compliqué. Le microscope électronique à balayage, quant à lui, possède une grande profondeur de champ, un grand champ de vision et une image tridimensionnelle, qui permet d'observer directement la structure fine des surfaces inégales de divers échantillons.
