Les instruments utilisés en microscopie à double faisceau sont principalement utilisés pour mesurer la rugosité de surface. Il peut également être utilisé pour mesurer l'épaisseur de superpositions transparentes et translucides, en particulier les films anodisés sur aluminium.
L'instrument fonctionne en éclairant un faisceau à un angle d'incidence de 45 degrés sur la surface de la superposition, et une partie du faisceau est réfléchie par la surface de la superposition. Une autre partie pénètre dans la couverture et se réfléchit à partir de l'interface couverture-substrat. Deux images distinctes peuvent être vues à partir de l'oculaire du microscope, la distance étant proportionnelle à l'épaisseur de la superposition, et la distance peut être mesurée en ajustant le bouton de commande d'échelle.
Cette méthode ne peut être utilisée que lorsque suffisamment de lumière est réfléchie à l'interface revêtement-substrat pour obtenir une image claire au microscope.
Pour les superpositions transparentes ou translucides, telles que les films anodisés, la méthode est non destructive. Afin de mesurer l'épaisseur de la couche de couverture opaque, un petit morceau de la couche de couverture doit être retiré, de sorte qu'une marche pouvant réfracter le faisceau lumineux se forme entre la surface de la couche de couverture et le substrat, de sorte que la valeur absolue de l'épaisseur de la couche de couverture peut être mesurée. Dans ce cas, la méthode est une méthode de test destructive.
L'erreur de mesure de la microscopie à deux faisceaux est généralement inférieure à 10 %.
